VLSI Research市調(diào)公司近日公布了2010年全球芯片廠用設(shè)備制造廠商排行榜，應(yīng)用材料公司仍然穩(wěn)居老大位置，而近年來相當(dāng)活躍的光刻設(shè)備廠商荷蘭ASML則排名超過東電電子公司(TEL)上升到了第二位，東電電子則在排行榜上位居第三。
         

　　(單位：百萬美元)

　　美國范林半導(dǎo)體(Lam Research：刻蝕設(shè)備廠商)則位居第四，排在第五位的是掩模板、量測設(shè)備及電子束直寫設(shè)備廠商KLA-Tencor，隨后的排名依次為DNS(硅片清潔設(shè)備，RTP快速退火設(shè)備廠商), Novellus(CVD/PVD淀積設(shè)備廠商), Varian(離子注入設(shè)備廠商), 尼康以及日立高技術(shù)公司(蝕刻設(shè)備，測量設(shè)備廠商)。

　　據(jù)統(tǒng)計，ASML與范林半導(dǎo)體兩家公司的設(shè)備銷售額2010年提升了進(jìn)200%，Varian Semiconductor公司的設(shè)備銷售額則提升了187%，排位上升到了第8位。

　　總體上看，位居前十位的半導(dǎo)體制造設(shè)備廠商的銷售額增長了140%，比2008/2009的低潮期好轉(zhuǎn)不少。VLSI Research市調(diào)公司的總裁Risto Puhakka表示：“芯片制造用設(shè)備廠商銷售額和盈利額的增長率在2010年達(dá)到了創(chuàng)記錄的水平。這一年這些設(shè)備廠商的良好業(yè)績顯示全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)從經(jīng)濟(jì)危機(jī)中全面恢復(fù)，比2010年初人們所預(yù)計的情況還要好。”