半導(dǎo)體電阻率的多種測量方法應(yīng)用與注意事項(xiàng)
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使用兩臺靜電計(jì)就解決了這個(gè)問題，如圖4-27所示。電壓表將讀出兩個(gè)靜電計(jì)的緩沖輸出之間的差值，該值等于R2上的電壓。數(shù)值r1、r2、r3 和r4代表探頭與樣品材料接觸的電阻。單位增益緩沖器具有很高的輸入阻抗，所以幾乎沒有共模電流流過r3，于是可以很容易地計(jì)算出R2的數(shù)值。該緩沖器可以是一對JFET運(yùn)算放大器或者是兩個(gè)具有單位增益輸出的靜電計(jì)。
為了避免泄漏電流，使用隔離的或者帶保護(hù)的探頭與樣品接觸。電流源應(yīng)當(dāng)處于保護(hù)模式。
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