光刻

光刻Top 　　利用照相復(fù)制與化學腐蝕相結(jié)合的技術(shù)，在工件表面制取精密、微細和復(fù)雜薄層圖形的化學加工方法。光刻原理雖然在19世紀初就為人們所知，但長期以來由于缺乏優(yōu)良的光致抗蝕劑而未得到應(yīng)用。直到20世紀50年代，...... [查看詳細]