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mems壓力傳感器文章進(jìn)入mems壓力傳感器技術(shù)社區(qū)

液壓傳感助力公路非機(jī)動(dòng)車輛提升效率和安全性

傳感技術(shù)是對(duì)移動(dòng)式液壓系統(tǒng)的成本和安全影響最大的因素之一。合適的傳感技術(shù)可以使系統(tǒng)的操作更容易、使用...
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極端環(huán)境條件下，最好的敏感元件溫度管理技術(shù)是什么

在CPAP機(jī)、呼吸機(jī)及其它呼吸設(shè)備（比如睡眠呼吸機(jī)和麻醉機(jī)）等醫(yī)療應(yīng)用中，能同時(shí)精確地監(jiān)控和管理溫度和濕度檢測...
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NEMS-納機(jī)電系統(tǒng)

納機(jī)電系統(tǒng)(Nano-ElectromechanicalSystem,簡稱NEMS)是20世紀(jì)90年代末、21世紀(jì)初提出的一個(gè)新概念?？梢赃@...
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硅-硅直接鍵合工藝

硅-硅直接鍵合技術(shù)就是將兩個(gè)拋光硅片經(jīng)化學(xué)清洗和活化處理后在室溫下粘貼在一起，再經(jīng)過高溫退火處理，使鍵合...
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MEMS封裝技術(shù)及相關(guān)公司

MEMS封裝屬于后道工藝，成本往往占到整個(gè)MEMS元件的70～80％。與生產(chǎn)環(huán)節(jié)相比，封裝環(huán)節(jié)水平更能決定MEMS產(chǎn)品的競爭...
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MEMS與CMOS技術(shù)的異同點(diǎn)

在某種程度上，MEMS可以看作CMOS集成電路的擴(kuò)展。如果將CMOS比喻為人的大腦和神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)，那么MEMS就是大腦智慧的...
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壓力傳感器-Pressure sensor

壓力傳感器是指將壓力轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出的傳感器。壓力傳感器一般由彈性敏感元件和位移敏感元件（或應(yīng)變計(jì)）組成...
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MEMS設(shè)計(jì)的高度復(fù)雜性

近年來，微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的研究已取得了很大進(jìn)步，但真正商品化的MEMS產(chǎn)品主要還是一些傳感器類產(chǎn)品。這表明MEMS...
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MEMS傳感器市場分析

MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微機(jī)電系統(tǒng)的縮寫，MEMS技術(shù)建立在微米/納米基礎(chǔ)上，是對(duì)微米/納米材...
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中國壓力傳感器行業(yè)發(fā)展問題分析

目前，我國壓力傳感器市場發(fā)展過程中主要受到技術(shù)方面及行業(yè)內(nèi)企業(yè)能力兩大方面因素制約了我國該產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)...
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中國MEMS產(chǎn)業(yè)存在的問題

盡管中國的MEMS產(chǎn)業(yè)面臨良好的發(fā)展機(jī)遇，但不容忽視的是，與國外MEMS產(chǎn)業(yè)界相比，目前國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展存在以下...
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SOI技術(shù)的優(yōu)勢及其制造技術(shù)

1引言SOI是英文Silicon-On-Insulator的簡稱，指具有在絕緣襯底上再生長一層單晶硅薄，或者是單晶硅薄...
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傳感器接口標(biāo)準(zhǔn)最新進(jìn)展

近來被獲準(zhǔn)通過的IEEE1451.4標(biāo)準(zhǔn)，以其更簡單、實(shí)用的應(yīng)用使智能變送器接口標(biāo)準(zhǔn)得到了重生，同時(shí)它用于模數(shù)信...
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空心軸不帶內(nèi)置軸承的角度編碼器

數(shù)控或電子同步軸越來越普遍地使用無框架電機(jī)或密封式空心軸電機(jī)，尤其在機(jī)床行業(yè)，印刷機(jī)械和紡織機(jī)械。這對(duì)消...
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發(fā)動(dòng)機(jī)燃燒過程監(jiān)測和氣缸蓋墊壓力傳感器

本文介紹發(fā)動(dòng)機(jī)燃燒過程電子控制及其意義、氣缸蓋墊壓力傳感器的原理以及集成于氣缸蓋墊的壓力傳感器。發(fā)...
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mems壓力傳感器介紹

硅直接鍵合技術(shù)廣泛應(yīng)用于壓力傳感器和加速度計(jì)，是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術(shù)制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢：成本低，應(yīng)力小，性能高，可以大規(guī)模生產(chǎn)。壓力傳感器分為兩種，一種是基于壓阻的變化，一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻，隨著壓力的變化，硅膜的應(yīng)力變化，相應(yīng)的壓阻發(fā)生變化，鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為： [ 查看詳細(xì) ]

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