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        mems壓力傳感器 文章 進入mems壓力傳感器技術社區(qū)

        TPMS壓力傳感器介紹:NPP301與SM5420

        傳感器在土工測試中應用及其選用原則

        硅壓力傳感器的疑難問題

        一種有源濾波器中電流傳感器噪聲抑制電路設計

        使用稱重傳感器注意事項

        基于低壓驅動RF MEMS開關的MEMS開關改進

        低壓驅動RF MEMS開關設計與模擬--用于MEMS開關缺陷的改進

        MEMS壓力傳感器及其應用

        解析Microvision單鏡面MEMS芯片技術

        一種新型MEMS微波功率傳感器的設計與模擬

        將MEMS傳感器用于各種創(chuàng)新的消費類產(chǎn)品設計解析

        利用MEMS構建多信道可調(diào)色散補償儀

        用可編程模擬電路實現(xiàn)MEMS陀螺儀測量系統(tǒng)

        利用MEMS麥克風改善移動設備聲學性能

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        mems壓力傳感器介紹

        硅直接鍵合技術廣泛應用于壓力傳感器和加速度計,是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢:成本低,應力小,性能高,可以大規(guī)模生產(chǎn)。壓力傳感器分為兩種,一種是基于壓阻的變化,一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻,隨著壓力的變化,硅膜的應力變化,相應的壓阻發(fā)生變化,鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為: [ 查看詳細 ]

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