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mems壓力傳感器文章進入mems壓力傳感器技術(shù)社區(qū)

現(xiàn)代汽車傳感技術(shù)的發(fā)展商機

傳感器是一種信號轉(zhuǎn)換裝置，其功用是檢測汽車(及發(fā)動機)不同狀態(tài)下的各種電量、物理量和化學(xué)量等參數(shù)，并將這些...
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利用差分霍爾器件實現(xiàn)齒輪速度測量

在汽車等應(yīng)用環(huán)境惡劣的條件下實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)體的速度測量具有一定挑戰(zhàn)性，需要在考慮輻射干擾、電磁干擾和傳導(dǎo)干擾...
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生物識別技術(shù)的基本概念和原理

要掌握一門學(xué)科，首先要做的是對其基本概念和基本原理有一個熟練的掌握，然后反復(fù)思考其內(nèi)涵和外延。而要對一個...
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光纖氫傳感器的研究進展

一、引言無論是為了預(yù)防氫的積累還是要利用氫的場合都需要對氫的含量進行測量和監(jiān)控，而安全、可靠且廉價的...
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發(fā)電廠測溫預(yù)警系統(tǒng)

本文分析了發(fā)電廠易引起火災(zāi)的場所及發(fā)生原因，介紹了新型溫度探測器---測溫電纜的特性及應(yīng)用，提出了發(fā)電廠測...
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光纖傳感器相位漂移及倍頻問題的解決方法

一、引言光纖傳感由于具有本質(zhì)安全、電絕緣性好、靈敏度高及便于連網(wǎng)等優(yōu)點，已在許多物理量的測量中得到應(yīng)...
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鋼水成分傳感器及其應(yīng)用進展

一、引言用計算機控制算法優(yōu)化工業(yè)過程需要實時的過程參數(shù)。一個工藝過程被優(yōu)化的程度取決于工藝過程信息...
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光纖傳感、光纖光柵、光纖光柵傳感

光纖傳感技術(shù)由于光纖不僅可以作為光波的傳輸媒質(zhì)，而且光波在光纖中的傳播時表征光波的特征參量（振幅、相位...
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磁敏傳感器國內(nèi)外發(fā)展應(yīng)用狀況分析

磁敏傳感器是傳感器產(chǎn)品的一個重要組成部分，隨著我國磁敏傳感器技術(shù)的發(fā)展，其產(chǎn)品種類和質(zhì)量將會得到進一步發(fā)...
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光纖光柵傳感系統(tǒng)的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢

自1978年，加拿大的Hill等人首次在摻鍺石英光纖中發(fā)現(xiàn)光敏現(xiàn)象并采用駐波法制造出世界上第一根光纖光柵和1989...
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對嵌入式智能傳感器的理論研究

一、引言傳感器技術(shù)是一項當(dāng)今世界令人矚目的迅猛發(fā)展起來的高新技術(shù)之一，也是當(dāng)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展的一個重要...
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信號隔離器等相關(guān)問題解答

信號隔離器的工作原理及功能是什么？工作原理：首先將變送器或儀表的信號，通過半導(dǎo)體器件調(diào)制變換，然后通過光感...
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電容式觸摸傳感器的設(shè)計技巧

隨著混合信號技術(shù)的發(fā)展，可以利用基于噪聲門限和手指門限的反跳法，實現(xiàn)按鍵開關(guān)狀態(tài)之間的干凈利落的轉(zhuǎn)換，從而...
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航空發(fā)動機智能溫度傳感器的設(shè)計

引言航空發(fā)動機全權(quán)限數(shù)字式電子控制（FADEC）是現(xiàn)代戰(zhàn)機飛行/推進系統(tǒng)綜合控制的發(fā)展趨勢，憑借計算機強大而快...
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電渦流傳感器陣列測試技術(shù)

電渦流傳感器是一種基于電渦流效應(yīng)的無損、非接觸式的傳感器，以其優(yōu)良的測試性能，在機械量的測量以及金屬材料...
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mems壓力傳感器介紹

硅直接鍵合技術(shù)廣泛應(yīng)用于壓力傳感器和加速度計，是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術(shù)制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢：成本低，應(yīng)力小，性能高，可以大規(guī)模生產(chǎn)。壓力傳感器分為兩種，一種是基于壓阻的變化，一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻，隨著壓力的變化，硅膜的應(yīng)力變化，相應(yīng)的壓阻發(fā)生變化，鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為： [ 查看詳細 ]

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