圖 7?30 測試多個VCSEL

測試系統(tǒng)中的儀器是通過Trigger Link電纜（較新的Keithley儀器中采用的一種硬件握手總線）進行連接的。當(dāng)源表和開關(guān)主機通過Trigger Link連接時，它們能夠彼此觸發(fā)，可更快地進行測試。利用這種內(nèi)置的總線，大多數(shù)系統(tǒng)功能就無需PC的直接控制。Trigger Link有6根觸發(fā)線，利用該觸發(fā)總線可最多控制6臺儀器。

Trigger Link有兩種工作模式：同步和半同步。在同步模式下，輸入和輸出觸發(fā)使用獨立的觸發(fā)線；而在半同步模式下，輸入和輸出觸發(fā)采用相同的觸發(fā)線。7001/7002型開關(guān)主機上有兩個Trigger Link連接器。在2400型源表上有一個Trigger Link連接器，#1觸發(fā)線出廠默認為輸入觸發(fā)，#2觸發(fā)線為默認的輸出觸發(fā)。

如圖 7?31所示，源表可在“源－延遲－測量”（SDM）周期的每一階段的開始或末尾接收和發(fā)送觸發(fā)。SDM周期表示打開源信號，執(zhí)行一個可編程的延遲，然后進行測量。

圖 7?31 源表輸入/輸出觸發(fā)

對于這種應(yīng)用，采用同步觸發(fā)來控制以下的時間順序：

通過前面板的按鈕或發(fā)送到7001/7002的總線命令驅(qū)動一次掃描。

閉合7011開關(guān)卡上VCSEL #1和PD #1對應(yīng)的通道。在經(jīng)過延遲穩(wěn)定時間后，輸出觸發(fā)通過#1線發(fā)送到兩臺2400型源表（SDM周期中的“源前”觸發(fā)）。

源表開始其“源－延遲－測量”周期。第一臺2400型源表向VSCEL #1輸出一個正偏電流；第二臺2400型源表向PD #1輸出一個負偏電壓。

經(jīng)過可編程的延遲時間后，第二臺2400型源表測量PD #1產(chǎn)生的漏流。在其測量階段結(jié)束時，該源表通過 # 2線向開關(guān)主機發(fā)送一個輸出觸發(fā)（SDM周期的“測量后”觸發(fā)）。

7001/7002開路所有通道，然后閉合VCSEL #2和PD #2相對應(yīng)的通道，并觸發(fā)源表儀器。

對所有的DUT執(zhí)行以上步驟。當(dāng)然，在每次測量后，探針必須連接到晶圓上的另一個器件，并且探測器定位于器件的上方。