摘要：為了能精確地自動測量He-Ne激光波長和透明薄膜厚度，采用單片機驅(qū)動步進電機帶動邁克爾干涉儀的微調(diào)手輪轉(zhuǎn)動，使光屏上產(chǎn)生穩(wěn)定變化的干涉條紋，用光電二極管檢測條紋信號光強變化，通過光電轉(zhuǎn)換電路將光信號轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?，輸入?a class="contentlabel" href="http://www.antipu.com.cn/news/listbylabel/label/單片機">單片機進行處理，測量結(jié)果自動顯示在液晶屏上。在一般實驗環(huán)境下進行了多次實驗，將實驗結(jié)果與標準值進行比較得出，改造后的儀器測量微小長度速度快，誤差小，精確度高。
關(guān)鍵詞：單片機；步進電機；邁克爾遜干涉儀；微小長度測量；薄膜厚度測量

0 引言
薄膜厚度是薄膜性能參數(shù)的重要指標，如何準確、快速、方便地測量膜厚在實驗中具有十分重要的意義。邁克爾遜干涉儀測量激光波長是大學物理實驗中重要的一部分，實驗時實驗者手動調(diào)節(jié)微調(diào)手輪，人眼觀察干涉條紋，帶來很多人為誤差，影響測量結(jié)果。為了保護實驗者視力，提高測量精度，擴大測量范圍，同時促進光學教學實驗儀器的發(fā)展，在研究單片機的基礎(chǔ)上，對邁克爾遜干涉儀進行了探索和改造。
改造后的邁克爾遜干涉儀在不改變物理學基本原理的基礎(chǔ)上，增加了電子技術(shù)中的大量元素，使物理學和電子技術(shù)很好地結(jié)合起來，實現(xiàn)了對激光波長和薄膜厚度的自動測量。測量簡便、精確度高，有一定的實用性。

1 系統(tǒng)工作原理
基于單片機改造的邁克爾干涉儀進行微小長度的自動測量，測量對象為激光波長和薄膜厚度，系統(tǒng)工作原理如圖1所示。

1．1 激光波長測量
使用He-Ne激光作光源，利用光的分振幅干涉法。用步進電機帶動微調(diào)手輪轉(zhuǎn)動代替手動調(diào)節(jié)，電機旋轉(zhuǎn)角度對應光程差為2△d；光屏上得到的“吞”、“吐”條紋，通過光電轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換為脈沖信號，輸入到單片機進行計數(shù)(條紋數(shù)N)，代替了人眼觀察條紋計數(shù)；測量步驟、結(jié)果(波長λ=2△d／N)及相對誤差通過液晶屏顯示，從而實現(xiàn)波長自動測量。
1．2 薄膜厚度測量
使用白光作光源，利用等厚干涉法。光路原理圖如圖2所示，當白光光程差為零時發(fā)生干涉現(xiàn)象，將光屏上的彩色條紋通過光電轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換為脈沖信號，同時記錄M1的初位置d1；放入薄膜后，光程差增大，彩色條紋消失；電機帶動M1移動到彩紋再現(xiàn)，記錄M1的末位置d2。用阿貝折射儀測出薄膜折射率n，輸入到單片機，根據(jù)公式進行處理，即可得到薄膜厚度。