從表格1中可得所有圓孔半徑的標準偏差都在0．5μm左右，并且與Leitz PMM866所得結(jié)果的偏差從-0．3μm到0，都滿足小于1μm的需求。同時，所有結(jié)果的峰值偏移都在±1μm以內(nèi)，同樣也滿足最初的精度需求。綜上所述，該系統(tǒng)重復(fù)測量結(jié)果精度都穩(wěn)定在±1μm以內(nèi)，滿足細微電火花機床對工件檢驗精度的需求。

3 與其他細微精加工中常用測量機器的對比
在微米精加工過程中不同的檢測機器被使用，為了與這些常用機械進行對比，設(shè)計了一系列的實驗來對比它們的精度。
3．1 手動式測量方法
3．1．1 投影儀
這一類測量機器利用光學(xué)衍射原理在被測工件背面投射背景光，并使用高倍放大鏡頭進行接收放大后投射在觀測屏上。由于此種測量方式受人為影響較大，為了確定人為因素對最后結(jié)果精確度影響的程度，我們設(shè)計了如下實驗：一個寬10 mm的標準工件被用作待測工件，在投影儀的觀測屏上可以看到一個XY方向的基準線，測量過程中我們需要用人眼判斷出Y軸方向上基準線和工件邊緣的最佳吻合處。當(dāng)確定位置后按下與投影儀相連用來讀取位置儀器上的按鈕，定義此處為(X，Y)=(0，0)點，然后轉(zhuǎn)動放著工件的托盤沿著X軸移動到此工件的另一邊緣，用同樣的方法記錄下另一邊緣處同一X方向上的另一點。此時可從儀器上讀取兩點間的距離，即為此標準工件兩邊緣間的間距。同樣的實驗被獨立重復(fù)50次。