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中微公司發(fā)布用于深紫外LED量產(chǎn)的MOCVD設備Prismo HiT3
- 中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”，上交所股票代碼：688012）今日宣布推出Prismo HiT3TM MOCVD設備，主要用于深紫外LED量產(chǎn)。中微Prismo系列MOCVD設備目前已進入全球大多數(shù)領先的藍綠光LED制造商，此次推出的Prismo HiT3TM是中微Prismo系列MOCVD設備的最新產(chǎn)品。該設備是適用于高質量氮化鋁和高鋁組分材料生長的關鍵設備，反應腔最高溫度可達1400度，具有優(yōu)異的工藝重復性、均勻性和低缺陷率。該設備同時也為高產(chǎn)量而設計，單爐可生長18片2英寸
- 關鍵字： 中微公司 深紫外 LED MOCVD
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