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EUV光刻技術或助力芯片突破摩爾定律
- 據(jù)美國科技博客Business Insider報道,在近50年的科技發(fā)展中,技術變革的速度一直遵循著摩爾定律。一次又一次的質疑聲中,英特爾堅定不移地延續(xù)著摩爾定律的魔力。 摩爾定律是由英特爾聯(lián)合創(chuàng)始人GordonMoore提出,內(nèi)容為:當價格不變時,集成電路上可容納的晶體管數(shù)目,約每隔18個月便會增加一倍,性能也將提升一倍。換言之,每一美元所能買到的電腦性能,將每隔18個月翻兩倍以上。這一定律揭示了信息技術進步的速度。 在幾十年來,芯片技術得以快速變革和發(fā)展,變得更加強大,節(jié)省了更
- 關鍵字: EUV 摩爾定律
ASML:量產(chǎn)型EUV機臺2015年就位
- 極紫外光(EUV)微影技術將于2015年突破量產(chǎn)瓶頸。傳統(tǒng)浸潤式微影技術在半導體制程邁入1x奈米節(jié)點后將面臨物理極限,遂使EUV成為產(chǎn)業(yè)明日之星。設備供應商艾司摩爾(ASML)已協(xié)同比利時微電子研究中心(IMEC)和重量級晶圓廠,合力改良EUV光源功率與晶圓產(chǎn)出速度,預計2015年可發(fā)布首款量產(chǎn)型EUV機臺。 ASML亞太區(qū)技術行銷協(xié)理鄭國偉提到,ASML雖也同步投入E-Beam基礎研究,但目前對相關設備的開發(fā)計劃仍抱持觀望態(tài)度。 ASML亞太區(qū)技術行銷協(xié)理鄭國偉表示,ASML于2012年
- 關鍵字: ASML EUV
Intel:14nm進展順利 一兩年后量產(chǎn)
- Intel CTO Justin Rattner近日對外披露說,Intel 14nm工藝的研發(fā)正在按計劃順利進行,會在一到兩年內(nèi)投入量產(chǎn)。 2013年底,Intel將完成P1272 14nm CPU、P1273 14nm SoC兩項新工藝的開發(fā),并為其投產(chǎn)擴大對俄勒岡州Fab D1X、亞利桑那州Fab 42、愛爾蘭Fab 24等晶圓廠的投資,因此量產(chǎn)要等到2014年了。 而從2015年開始,Intel又會陸續(xù)進入10nm、7nm、5nm等更新工藝節(jié)點。 Rattner指出,Intel
- 關鍵字: Intel 晶圓 EUV
光源問題仍是EUV光刻技術中的難題
- GlobalFoundries公司的光刻技術專家Obert Wood在最近召開的高級半導體制造技術會議ASMC2011上表示,盡管業(yè)界在改善EUV光刻機用光源技術方面取得了一定成效,但光源問題仍是EUV光刻技術成熟過程中最“忐忑”的因素。
- 關鍵字: GlobalFoundries EUV
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