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ixh645h 文章進入ixh645h技術社區(qū)

EDWARDS發(fā)布用于LED和化合物半導體制造的新型真空泵

全球領先的高精真空設備和尾氣處理系統(tǒng)制造商及相應增值服務供應商Edwards公司宣布推出新的iXH645H干泵，新設備經(jīng)過優(yōu)化，適用于LED制造中使用的MOCVD工藝，以及在柵堆疊(gate stack)中使用III-V材料的化合物半導體制造工藝。
關鍵字： Edwards 真空泵 iXH645H

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ixh645h介紹

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