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中科院研發(fā)者回應5納米光刻技術突破ASML壟斷
- 今年7月，在中國科學院官網(wǎng)上發(fā)布了一則研究進展，中科院蘇州所聯(lián)合國家納米中心在《納米快報》（Nano Letters）上發(fā)表了題為《超分辨率激光光刻技術制備5納米間隙電極和陣列》（5 nm Nano gap Electrodes and Arrays by a Super-resolution Laser Lithography）的研究論文，介紹了該團隊研發(fā)的新型5 納米超高精度激光光刻加工方法。該論文發(fā)表在《納米快報》（NanoLetters）。圖截自官網(wǎng)ACS官網(wǎng) 消息一經(jīng)發(fā)出，外界一片沸騰，一
- 關鍵字： 中科院 光刻技術 ASML
荷蘭巨頭1nm光刻機迎新突破！中國訂購的EUV光刻機呢？
- 據(jù)TechWeb網(wǎng)站11月30日最新報道，近日荷蘭光刻機巨頭阿斯麥（ASML）又送來一則好消息，該司已經(jīng)與比利時半導體研究機構IMEC共同完成了1nm光刻機的設計工作?！ ?jù)了解，先進制程的光刻機對于曝光設備的分辨率要求更高。與此同時，ASML已經(jīng)完成了0.55NA曝光設備的基本設計工作。按照阿斯麥的計劃，預計相應的曝光設備全線準備好之后，會在2022年實現(xiàn)商業(yè)化?！ ∪欢?，這家荷蘭企業(yè)的光刻機制造技術卻變得重大突破之際，我國芯片制造巨頭——中芯國際自阿斯麥訂購的EUV光刻機至今卻還未到貨。據(jù)悉，中芯
- 關鍵字： ASML IMEC 光刻機 中芯國際
華為+中科院攻關EUV光刻機？ASML華裔工程師：天方夜譚
- 9月16日，中國科學院院長白春禮在國新辦發(fā)布會上介紹稱，“率先行動”計劃第二階段要把美國“卡脖子”的清單變成科研任務清單進行布局，集中全院力量聚焦國家最關注的重大領域攻關。白春禮稱，從2021年到2030年未來的十年是“率先行動”計劃第二階段。對此，首先要進行體制機制改革。他稱，目前已經(jīng)設立了創(chuàng)新研究院、卓越創(chuàng)新中心、大科學中心和特色所四類機構，目的是根據(jù)科研性質(zhì)不同進行分類定位、分類管理、分類評價、分類資源配置?！斑@個工作還沒有完，只是進行了一部分，所以第二階段我們爭取在2025年要把四類機構全部做完，
- 關鍵字： 華為 中科院 EUV 光刻機 ASML
Intel/臺積電/ASML齊捧EUV光刻：捍衛(wèi)摩爾定律
- 日前，中國國際半導體技術大會（CSTIC）在上海開幕，為期19天，本次會議重點是探討先進制造和封裝。其中，光刻機一哥ASML（阿斯麥）的研發(fā)副總裁Anthony Yen表示，EUV光刻工具是目前唯一能夠處理7nm和更先進工藝的設備，EUV技術已經(jīng)被廣泛認為是突破摩爾定律瓶頸的關鍵因素之一。Yen援引統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，截至2019年第四季度，ASML當年共售出53臺EUV NXE：3400系列EUV光刻機，使用EUV機器制造的芯片產(chǎn)量已經(jīng)達到1000萬片。他說，EUV已經(jīng)成為制造7nm、5nm和3nm邏輯集成電
- 關鍵字： Intel 臺積電 ASML EUV 光刻 摩爾定律
5nm工藝起飛 ASML宣布全新半導體技術：產(chǎn)能大漲600%
- 提到荷蘭ASML公司，大家都知道他們是全球唯一的EUV光刻機供應商，7nm及以下的工藝生產(chǎn)都要靠他們的設備。不過ASML不只是光刻機厲害，今天他們宣布了另外一個新產(chǎn)品——第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000，適用于5nm及更先進工藝，使得產(chǎn)能大漲600%。隨著制程工藝不斷提升，晶圓的制造也越來越復雜，這也會導致晶圓中的錯誤更多，HMI eScan1000就是一套基于HMI多光束技術的檢測系統(tǒng)，內(nèi)部也有復雜的光電子系統(tǒng)，能夠產(chǎn)生、控制多個電子束，然后根據(jù)反射回來的電子束成像來分析晶圓質(zhì)量，并有
- 關鍵字： 5nm ASML 產(chǎn)能
光刻機制造商ASML：疫情中公司訂單依然強勁
- 據(jù)外媒報道，由于擔心新型冠狀病毒疫情帶來的不確定性，三星和臺積電的半導體設備供應商ASML宣布撤回2020年第二季度的業(yè)績預期。不過，這家生產(chǎn)極紫外線(EUV)光刻設備的荷蘭公司補充說，該公司的設備訂單依然強勁，需求也沒有變化。ASML首席執(zhí)行官彼得·溫寧克（Peter Wennink）說：“需求前景沒有變化，今年我們沒有遇到任何推遲或取消交易的情況。盡管當前形勢充滿挑戰(zhàn)，但到目前為止，我們能夠繼續(xù)保持正常業(yè)務?！钡珳貙幙搜a充說：“目前新型冠狀病毒疫情將如何影響全球GDP發(fā)展、終端市場、我們的制造能力以及
- 關鍵字： 光刻機 ASML
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