中微宣布在泛林對其臺灣分公司的法律訴訟中獲勝

• 　　中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司(中微)宣布它們已經(jīng)在由美國泛林科技有限公司(泛林)在臺灣發(fā)起的針對其臺灣分公司及其關(guān)聯(lián)企業(yè)的專利侵權(quán)的法律訴訟中獲得了勝利。在昨天剛剛宣布的判決中，臺灣智慧財產(chǎn)法院駁回了泛林的訴訟，并認(rèn)定泛林主張遭到侵害的專利是無效的。 　　2009年1月，泛林公司明確聲稱中微公司型號為 Primo D-RIE 的等離子蝕刻機(jī)侵害它的臺灣專利 TW136706“電漿反應(yīng)器中之多孔的電漿密封環(huán)”，和 TW126873“于電漿處理室中大量消除未局限電漿之聚焦環(huán)
• 關(guān)鍵字： 中微  半導(dǎo)體設(shè)備  TW136706