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Veeco獲針對SGL初步禁令，中微半導(dǎo)體將受影響
- 11月2日，有機金屬化學(xué)汽相沉積系統(tǒng)(MOCVD)設(shè)備大廠美國維易科(Veeco)宣布，美國紐約東區(qū)地方法院同意了Veeco公司針對SGL Carbon，LLC(SGL)的一項初步禁令請求，該公司是中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司(AMEC)的晶圓承載器供應(yīng)商。據(jù)統(tǒng)計，目前國內(nèi)前三大LED芯片廠商今年采購的機臺里，Veeco和中微半導(dǎo)體各占一半。業(yè)內(nèi)人士評論稱，此次禁令可能會讓中微損失不少。 該禁令禁止SGL出售供采用了Veeco專利技術(shù)的無基座金屬有機化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(MOCVD)使用的晶圓承載器，包括
- 關(guān)鍵字： Veeco SGL
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