EEPW首頁(yè) >>
主題列表 >>
euv光源
euv光源 文章 進(jìn)入euv光源技術(shù)社區(qū)
Gigaphoton將LPP EUV光源輸出端最大等效功率提升至20W級(jí)別
- Gigaphoton公司18日宣布已經(jīng)成功將LPP EUV光源產(chǎn)品的輸出端等效最大功率推進(jìn)到了20W水平。該公司達(dá)成這個(gè)目標(biāo)所使用的方法是，使用固態(tài)預(yù)脈沖激光器，100khz頻率的CO2激光來(lái)轟擊錫靶標(biāo)。采用這種方法，該公司在光源運(yùn)行過(guò)程中達(dá)成了平均 10W水平的輸出功率。由于目前普遍認(rèn)可的預(yù)生產(chǎn)型商用EUV光源輸出功率級(jí)別正好在10W左右，因此Gigaphoton公司此次的成果標(biāo)志著預(yù)生產(chǎn)極 EUV光源發(fā)展過(guò)程中的一個(gè)新里程碑。 ? ? Gigaphoton公司
- 關(guān)鍵字： Gigaphoton EUV光源
EUV光源廠商散伙
- 日本的Komatsu和Ushio稍早前宣布，已終止有關(guān)光源合資企業(yè)Gigaphoton的合作協(xié)議。Komatsu將從Ushio手中買(mǎi)下50%股權(quán)。未來(lái)Gigaphoton將成為Komatsu的全資子公司。而此舉會(huì)為EUV的未來(lái)投下何種變數(shù)仍有待觀察。
- 關(guān)鍵字： Gigaphoton EUV光源
| 共4條 1/1 1 |
euv光源介紹
您好，目前還沒(méi)有人創(chuàng)建詞條euv光源!
歡迎您創(chuàng)建該詞條，闡述對(duì)euv光源的理解，并與今后在此搜索euv光源的朋友們分享。 創(chuàng)建詞條
歡迎您創(chuàng)建該詞條，闡述對(duì)euv光源的理解，并與今后在此搜索euv光源的朋友們分享。 創(chuàng)建詞條
關(guān)于我們 -
廣告服務(wù) -
企業(yè)會(huì)員服務(wù) -
網(wǎng)站地圖 -
聯(lián)系我們 -
征稿 -
友情鏈接 -
手機(jī)EEPW
Copyright ?2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《電子產(chǎn)品世界》雜志社 版權(quán)所有 北京東曉國(guó)際技術(shù)信息咨詢有限公司
京ICP備12027778號(hào)-2 北京市公安局備案：1101082052 京公網(wǎng)安備11010802012473
Copyright ?2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《電子產(chǎn)品世界》雜志社 版權(quán)所有 北京東曉國(guó)際技術(shù)信息咨詢有限公司
京ICP備12027778號(hào)-2 北京市公安局備案：1101082052 京公網(wǎng)安備11010802012473