面向CMUT陣元的阻抗匹配設計與聲場特性測試

• 電容式微機械超聲換能器（CMUT）是利用MEMS微加工技術制作的超聲換能器，具有低聲阻抗、寬帶寬、體積小等優(yōu)點。然而，相比于壓電式超聲換能器，CMUT存在發(fā)射靈敏度較低、輸出聲壓不夠高等問題。據(jù)麥姆斯咨詢報道，為了解決CMUT聲發(fā)射能力弱、輸出聲壓低的問題，中北大學研究人員根據(jù)CMUT工作原理與阻抗匹配理論設計了匹配電路，實現(xiàn)信號源端到CMUT的最大功率傳遞，以此提升CMUT的聲發(fā)射性能，為CMUT的實際應用提供解決方案。相關研究成果已發(fā)表于《傳感器與微系統(tǒng)》期刊。單個CMUT陣元由許多CMUT微元構(gòu)成，
• 關鍵字： MEMS  CMUT