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基于CAV424的電容式壓力傳感器測量電路設(shè)計
- 0 引言 硅電容壓力傳感器是利用硅基材料， 應用電容原理， 采用MEMS 工藝制作的一類新型壓力傳感器。因其具有穩(wěn)定性好， 非線性和可靠性優(yōu)越的性能被廣泛用于工業(yè)控制和測量領(lǐng)域。但是差動電容式壓力傳感器的輸出差動電容信號通常都非常微弱， 因此， 如何將微小電容變化量檢測及轉(zhuǎn)換為后續(xù)電路容易處理的信號至關(guān)重要。目前， 比較常用的檢測調(diào)理電路如諧振法、振蕩法、開關(guān)電容法、AC 電橋法、運算放大器檢測法等。這些調(diào)理電路都是采用分離元件設(shè)計而成的， 而文中將采用一款電容專用檢測轉(zhuǎn)換芯片CAV424作為調(diào)
- 關(guān)鍵字： CAV424 壓力傳感器
CAV424傾角傳感矗的檢測系統(tǒng)設(shè)計
- 在實驗的基礎(chǔ)上，提出一種設(shè)計差動電容傳感器調(diào)理電路的新方法，引入AMG公司開發(fā)的將電容信號轉(zhuǎn)換成電壓信號的集成電路CAV424，以及CAV424在傾角傳感器中的應用。另外，結(jié)合實例給出系統(tǒng)各部分的詳細硬件原理圖。
- 關(guān)鍵字： 設(shè)計 檢測系統(tǒng) 傳感 傾角 CAV424
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