臺灣MEMS制造商TMT(Touch Micro-system Technology)已經(jīng)獲得總部設(shè)在加州的制造商Miradia公司100 %的股份，以利用后者的專利技術(shù)將其業(yè)務(wù)從基本的MEMS代工轉(zhuǎn)變?yōu)?a class="contentlabel" href="http://www.antipu.com.cn/news/listbylabel/label/MEMS">MEMS調(diào)制解調(diào)器。這一轉(zhuǎn)變很可能是臺積電(TSMC)和聯(lián)華電子(UMC)準備大舉跨入MEMS生產(chǎn)行列的信號。

　　據(jù)悉，臺積電和聯(lián)華電子已在2008年下半年完成了MEMS相關(guān)設(shè)備的部署，預(yù)計即將在今年下半年開始批量生產(chǎn)。