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        我國(guó)多晶硅生產(chǎn)集成工藝技術(shù)又獲新突破

        作者: 時(shí)間:2009-06-12 來(lái)源:中國(guó)資源綜合利用協(xié)會(huì) 收藏

          科技部和中國(guó)行業(yè)協(xié)會(huì)在洛陽(yáng)中硅高科組織召開(kāi)驗(yàn)收評(píng)審會(huì)。中硅高科承擔(dān)的國(guó)家"十一五"科技支撐計(jì)劃課題大型合成、提純工藝技術(shù)與關(guān)鍵裝置研究、高效加壓還原爐系統(tǒng)研究、大型低溫加壓四氯化硅氫化技術(shù)與裝置研究三個(gè)課題和參與完成的標(biāo)準(zhǔn)、專(zhuān)利體系建設(shè)與研究課題順利通過(guò)驗(yàn)收評(píng)審。專(zhuān)家認(rèn)為,這四項(xiàng)科技成果成功解決了規(guī)?;?a class="contentlabel" href="http://www.antipu.com.cn/news/listbylabel/label/多晶硅">多晶硅生產(chǎn)中的瓶頸問(wèn)題,填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白,標(biāo)志著我國(guó)生產(chǎn)集成工藝技術(shù)又獲新突破。

        本文引用地址:http://www.antipu.com.cn/article/95206.htm


        關(guān)鍵詞: 電子材料 多晶硅 三氯氫硅

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