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        NEC展示處理溫度在200℃以下印刷制造CNT晶體管

        作者: 時間:2009-03-10 來源:電子產(chǎn)品世界 收藏
                在“nano tech 2009 (國際納米科技綜合展)”(2月18日~20日)上,展示了通過印刷技術(shù)形成采用碳納米管(CNT)的晶體管全部構(gòu)成要素的技術(shù)(參閱本站報道)。由于能夠在200℃以下的處理溫度狀態(tài)形成CNT晶體管,因此可將PEN(聚萘二甲酸乙二醇酯)薄膜等用于底板。

                將這種薄膜用于底板的話,能制造出即輕又薄還可以彎曲的。另外,還可采用以卷成卷狀的數(shù)百米~數(shù)千米長的薄膜進行卷對卷方式的連續(xù)生產(chǎn)。有利于避開將多個制造裝置連接起來的做法,可省去搬運裝置和勞動時間,能大幅降低元件的制造成本。

        本文引用地址:http://www.antipu.com.cn/article/92241.htm

                此次的CNT晶體管形成工藝采用分配(Dispense)技術(shù)涂布和干燥包含有Ag、絕緣材料和CNT在內(nèi)的油墨,分別形成Ag柵極、源極和漏極、柵極絕緣膜以及CNT通道。

               使用的油墨方面,僅僅優(yōu)化為單憑滴下裝置即可滴出的油墨還無法利用。需要分別將具有不同性質(zhì)的金屬、絕緣材料和半導體材料按照需要進行層積才行。為此,油墨主要需要滿足三個條件。一是下層的油墨能夠均勻覆蓋,二是要具有不被上層層積的油墨侵蝕的抗蝕性,三是要確保良好的圖案形成特性。

                此外,為將形成工藝控制在200℃以下,溶劑等材料的選擇受到限制。這就需要在這些限制下均勻分散Ag、絕緣材料和CNT,而且要使用在200℃以下?lián)]發(fā)的溶劑來制造油墨。

                今后,將開發(fā)處理溫度降至150℃以下的形成工藝。如果能夠?qū)崿F(xiàn)的話,將來可以使用PET(聚對苯二甲酸乙二醇酯)等更加便宜的薄膜。



        關(guān)鍵詞: NEC 電子元件

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