ECI Technology的化學(xué)檢測系統(tǒng)成功在歐洲知名半導(dǎo)體研究中心裝載
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QLC-7500是一臺(tái)在線分析設(shè)備，可用來監(jiān)測和控制硅通孔（TSV）銅淀積工藝。它能精確測量電鍍和填充工藝中無機(jī)成分和所有有機(jī)添加物的濃度。QLC-7XXX化學(xué)檢測系統(tǒng)是銅電鍍（大馬士革）工藝最常用的分析設(shè)備，全球主要的半導(dǎo)體制造商均選擇該系列設(shè)備。
本文引用地址：http://www.antipu.com.cn/article/92191.htm
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