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        聯(lián)電公布技術(shù)發(fā)展圖 質(zhì)疑450mm晶圓可行性

        作者: 時間:2008-06-18 來源:EETimes 收藏

          在設(shè)計自動化會議(DesignAutomationConference,DAC)上,臺灣代工廠商(UMC)公布了公司的工藝發(fā)展路線圖,并宣布與領(lǐng)域形成聯(lián)盟關(guān)系。
         
          與代工龍頭廠商臺積電(TSMC)不同,全球第二大代工廠商(UMC)表示,不開發(fā)下一代技術(shù)。

        本文引用地址:http://www.antipu.com.cn/article/84406.htm

          的65nm技術(shù)已啟動了一段時間,公司將立即進入45nm和40nm節(jié)點。其競爭對手臺積電也正在將高k金屬柵方案用于32nm節(jié)點。

          聯(lián)電的45/40nm工藝采用多層金屬、銅互連和超低k介質(zhì)等技術(shù)。在該節(jié)點,k系數(shù)約為2.5,而65nm節(jié)點上該數(shù)字為3.0。

          同時聯(lián)電將采用沉浸式光刻技術(shù)。45/40nm工藝預(yù)計在今年底進入初產(chǎn)階段。

          聯(lián)電在32nm節(jié)點的研發(fā)上也從未停下腳步,預(yù)計將在2010年底發(fā)布,該工藝將采用高k金屬柵技術(shù)。聯(lián)電拒絕透露詳細信息。

          聯(lián)電預(yù)計將在Fab12300mm工廠投入45/40nm工藝,該工廠位于臺灣臺南。從目前來看,聯(lián)電還為推進廠,而其競爭對手臺積電,以及英特爾和三星正在推行廠,預(yù)計將在2012年完成。

           “目前,450mm還不是一項激動人心的技術(shù)。”聯(lián)電副總裁李?。↙eeChung)說道,“在300mm技術(shù)中,還有許多改善生產(chǎn)效率的事情可以做。”

          當被問及是否認為450mm會在2012年出現(xiàn)時,李俊說道:“我不相信。”他表示,真正面臨挑戰(zhàn)的是設(shè)備制造商,他們對進入450mm世代沒有太大的興趣。

          聯(lián)電還公布了一些和廠商聯(lián)盟的策略。Cadence和聯(lián)電公布了基于CommonPowerFormat的低功耗設(shè)計參考流程,針對聯(lián)電的65nm工藝。

          Synopsys和聯(lián)電也發(fā)布了低功耗設(shè)計參考流程,支持聯(lián)電的65nm工藝。新流程包括基于UnifiedPowerFormat標準的RTL-to-GDSII設(shè)計功能。

          Magma和聯(lián)電也公布了基于聯(lián)電65nm工藝庫的低功耗RTL-to-GDSII設(shè)計流程。



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