多孔硅與硅基光電子的集成使低成本的微型光電傳感器成為可能
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美國喬治亞理工學(xué)院的科學(xué)家成功地將多孔硅(Porous Silicon)與絕緣體上硅(Silicon-on-insulator)集成，并在此基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)了微米尺寸大小、探測靈敏度提高6倍的光學(xué)傳感器。絕緣體上硅是硅基光電子領(lǐng)域常用的材料體系，在研發(fā)小尺寸、高性能、低成本的光電器件中起著十分關(guān)鍵的作用。
本文引用地址：http://www.antipu.com.cn/article/264241.htm
此次多孔硅與絕緣體上硅的成功集成極大地提高原有材料平臺的表面積，能夠吸附更多的待測樣本分子，從而極大地提高了微型集成光電傳感器的性能。該研究工作由美國國防高級計(jì)劃署資助。
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