在宣布將以16nm FinFET制程技術量產(chǎn)ARM 64位處理器后，臺積電再進一步與ARM攜手宣布，未來將透過10nm FinFET制程技術制作64位架構ARMv8-A處理器 ，預計最快在2015年第四季啟用此項技術，屆時將可支持各客戶采用10nm FinFET制程技術完成64位ARM架構處理器的設計定案。

　　進一步縮減制程技術后，預期將使相同架構處理器產(chǎn)品能以更少電功耗發(fā)揮更高的運作效能，或是更進一步縮減硬件產(chǎn)品體積、散熱所需空間等特性。