?、勰芰可⑿汀Ｒ詭в邪雽?dǎo)體探測器和多道脈沖高度分析器為特征的X射線熒光光譜儀叫做能量色散型光譜儀。因其具有能同時(shí)測定多個(gè)元素（還能測背景）的優(yōu)點(diǎn)，且數(shù)據(jù)處理快，故應(yīng)用領(lǐng)域日益擴(kuò)大。能量色散型儀器將于以后扼要敘述。

　?、鄯巧⑿汀Ｈ鐖D2-3所示，一般使用正比計(jì)數(shù)器作探測器，因其能量分辨率所限，常需要使用濾光片。X射線源用放射性同位素（RI）或用小型X射線管。因其分析對象是組成元素簡單的樣品，且形狀小巧故常當(dāng)作專用儀器或便攜式儀器使用。

　?、芙陙沓霈F(xiàn)了由波長色散型與能量色散型組合在一起的X射線熒光光譜儀，兼?zhèn)涓髯缘奶亻L，以滿足特殊分析的要求。