近期，俄羅斯國(guó)際新聞通訊社報(bào)道，俄羅斯在開(kāi)發(fā)可以替代光刻機(jī)的芯片制造工具。據(jù)悉，圣彼得堡理工大學(xué)的研究人員開(kāi)發(fā)出了一種“光刻復(fù)合體”，可用于蝕刻生產(chǎn)無(wú)掩模芯片，這將有助于俄羅斯在微電子領(lǐng)域技術(shù)領(lǐng)域獲得主動(dòng)權(quán)。

該設(shè)備綜合體包括用于無(wú)掩模納米光刻和等離子體化學(xué)蝕刻的設(shè)備，其中一種工具的成本為500萬(wàn)盧布（約36.7萬(wàn)元人民幣），另一種工具的成本未知。

開(kāi)發(fā)人員介紹，傳統(tǒng)光刻技術(shù)需要使用專(zhuān)門(mén)的掩膜板來(lái)獲取圖像。該裝置由專(zhuān)業(yè)軟件控制，可實(shí)現(xiàn)完全自動(dòng)化，隨后的另外一臺(tái)設(shè)備可直接用于形成納米結(jié)構(gòu)，但也可以制作硅膜，例如用于艦載超壓傳感器。

這不是俄羅斯首次對(duì)外公布有關(guān)光刻機(jī)的消息， 2022年10月，俄羅斯科學(xué)院下諾夫哥羅德應(yīng)用物理研究所就宣布朝光刻機(jī)領(lǐng)域展開(kāi)工作，該研究所希望能開(kāi)發(fā)俄羅斯首臺(tái)本土光刻機(jī)，用以生產(chǎn)7納米拓?fù)湫酒?。?duì)此，業(yè)界認(rèn)為，這需要數(shù)年時(shí)間才能實(shí)現(xiàn)。