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        臺(tái)積電2nm工藝2023年風(fēng)險(xiǎn)試產(chǎn)良率或達(dá)90%

        作者: 時(shí)間:2020-09-23 來(lái)源: 收藏

        據(jù)臺(tái)灣經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)報(bào)道,工藝取得重大突破,研發(fā)進(jìn)度超前,業(yè)界看好其2023年下半年風(fēng)險(xiǎn)試產(chǎn)良率就可以達(dá)到90%。

        本文引用地址:http://www.antipu.com.cn/article/202009/418649.htm

        供應(yīng)鏈透露,有別于3nm和5nm采用鰭式場(chǎng)效應(yīng)晶體管(FinFET),工藝改用全新的多橋通道場(chǎng)效電晶體(MBCFET)架構(gòu)。

        據(jù)悉,去年成立了專(zhuān)案研發(fā)團(tuán)隊(duì),尋找可行路徑進(jìn)行開(kāi)發(fā)。

        考量成本、設(shè)備相容、技術(shù)成熟及效能表現(xiàn)等多項(xiàng)條件,2nm采以環(huán)繞閘極(GAA)制程為基礎(chǔ)的MBCFET架構(gòu),解決FinFET因制程微縮產(chǎn)生電流控制漏電的物理極限問(wèn)題。

        極紫外光(EUV)微顯影技術(shù)的提升,使臺(tái)積電研發(fā)多年的納米片(Nano Sheet)堆疊關(guān)鍵技術(shù)更為成熟,良率提升進(jìn)度較預(yù)期順利。

        臺(tái)積電此前透露2nm研發(fā)生產(chǎn)將在新竹寶山,規(guī)劃P1到P4四個(gè)超大型晶圓廠(chǎng),占地90多公頃。




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