懸浮軸轉(zhuǎn)動時(shí)稍微受到干擾就會產(chǎn)生微小的不穩(wěn)定的振動，這種振動將影響懸浮軸的正常運(yùn)動狀態(tài)，因此，對懸浮軸的振動位移進(jìn)行無干擾測試極其困難，如果再要求測振傳感器靈敏度高、穩(wěn)定性好、抗干擾能力強(qiáng)，實(shí)施起來則更加困難。目前，在非接觸測振傳感器的研究方面，主要有電渦流測振傳感器和激光傳感器。但是，電渦流測振傳感器容易受到附近的電磁干擾和溫度的影響，激光傳感器成本高，穩(wěn)定性差。考慮到電容傳感器結(jié)構(gòu)簡單、靈敏度高、動態(tài)特性好，完全可以滿足使用環(huán)境，以此為基礎(chǔ)，本文設(shè)計(jì)了具有高精度的懸浮軸振動測量傳感器，并在測量過程中實(shí)現(xiàn)了振動信號處理的數(shù)字化。

1總體設(shè)計(jì)原理

懸浮軸振動測量傳感器的設(shè)計(jì)包括電容傳感器的設(shè)計(jì)、振蕩電路的選取、光電編碼器的采樣、差頻計(jì)數(shù)的實(shí)現(xiàn)、單片機(jī)智能控制幾大部分。其基本原理是：首先，利用導(dǎo)電介質(zhì)電容傳感器將振動位移的變化轉(zhuǎn)換為電容量的變化，由于電容傳感器為振蕩電路中的電容元件，因而，電容量的變化會引起振蕩器輸出頻率的變化。同時(shí)，選擇另一只電容傳感器作為溫度補(bǔ)償傳感器，通過振蕩器同樣得到一個(gè)頻率信號。振動信號的采樣是由光電編碼器的等轉(zhuǎn)角取樣實(shí)現(xiàn)的，在光電編碼器、門電路及單片機(jī)硬軟件的配合下，將2個(gè)高頻信號輸入差頻計(jì)數(shù)器就能得到固定時(shí)間間隔內(nèi)的計(jì)數(shù)值，送C8051F020單片機(jī)進(jìn)行存儲和處理，得到計(jì)數(shù)差值并轉(zhuǎn)換成振動位移的大小，實(shí)現(xiàn)框圖如圖1所示。

2傳感器的研制

2.1測量電路

懸浮軸的振動位移測量電路由兩部分組成：一方面利用導(dǎo)電介質(zhì)電容傳感器將懸浮軸振動位移的變化轉(zhuǎn)換成電容量的變化；另一方面，利用反射式光電編碼器實(shí)現(xiàn)懸浮軸轉(zhuǎn)動的等角度采樣，保證采樣的精度。

2.1.1導(dǎo)電介質(zhì)電容傳感器的設(shè)計(jì)

利用改變電容極板面積S和極板之間距離d的方法，均可以達(dá)到改變電容量C的目的。選用變極距式電容傳感器實(shí)現(xiàn)對懸浮軸的振動位移測量。為使傳感器能將振動位移的變化轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電容量變化，使兩者成單值函數(shù)關(guān)系，并保證懸浮軸在轉(zhuǎn)動和受外界干擾時(shí)的真實(shí)運(yùn)動狀況不發(fā)生改變，導(dǎo)電介質(zhì)傳感器以懸浮軸本身作為電容器的動極板，采用溫度對材料膨脹系數(shù)影響小的銅作為靜極板。另外，設(shè)計(jì)時(shí)對電容傳感器的靈敏度、線性及寄生電容的影響也給予充分考慮。設(shè)計(jì)時(shí)采用2只電容傳感器：1只用于測量，1只用于溫度補(bǔ)償。而且，每只電容傳感器又都是2只電容器串聯(lián)組成的，這樣，既解決了電容傳感器導(dǎo)線的連接問題，又減少了寄生電容的影響。設(shè)用于測量的電容傳感器電容量為C，用于溫度補(bǔ)償?shù)碾娙輦鞲衅麟娙萘繛镃0，設(shè)計(jì)的具體參數(shù)如下：

2只電容器的初始安裝極板間距均為x0=25μm；絕緣材料的厚度d1=10μm；每個(gè)極板的覆蓋面積A=0.5 cm2；測量振動的范圍為-25～25μm(即極板間距z范圍為0～50μm)；ε0=8.85×10-12 F／m，εr=2.3ε0，其結(jié)構(gòu)簡圖如圖2所示。

首先，極板間距和振動位移△x的關(guān)系為

x-x0=△x (1)

由于每只電容傳感器均由2只電容串聯(lián)構(gòu)成，考慮極板表面絕緣膜厚度，得到測量電容傳感器的電容量C和溫度補(bǔ)償電容傳感器的電容量C0分別為

2.1.2利用光電編碼器實(shí)現(xiàn)等轉(zhuǎn)角采樣

光電脈沖編碼器是一種旋轉(zhuǎn)式脈沖發(fā)生器，它將機(jī)械轉(zhuǎn)角變成電脈沖，可作為位置檢測和速度檢測裝置。設(shè)計(jì)中利用反射式光電編碼器實(shí)現(xiàn)了高精度的等轉(zhuǎn)角采樣，其輸出為脈沖信號，脈沖個(gè)數(shù)與旋轉(zhuǎn)位移有關(guān)。懸浮軸的轉(zhuǎn)速是50 rad／s，光電編碼器采用等轉(zhuǎn)角(2°)間隔采樣，則每個(gè)采樣周期約為t=111μs，即光電編碼器輸出頻率為9kHz的脈沖信號。懸浮軸連續(xù)變化的振動信號轉(zhuǎn)換過程為連續(xù)信號→離散信號，根據(jù)信號采樣理論：若連續(xù)信號f(t)是有限帶寬的，其頻譜的最高頻率為fm，則信號f(t)可以用等間隔的抽樣值來唯一的表示，而最低抽樣頻率fs=2fm，即fs≥2fm。由于光電編碼器的抽樣頻率fs=9kHz，因此，傳感器能夠測得的懸浮軸振動的最高頻率fm4.5 kHz。