德國艾爾芙特 – X-FAB Silicon Foundries，日前宣布為了MEMS的營運將在未來的三年投資5000萬美金以上在無塵室、新設備、研發(fā)與人員，這些投資也反映X-FAB意義深遠地聚焦在MEMS以因應預期中MEMS的成長。新品牌”X-FAB MEMS Foundry”在德國艾爾芙特的X-FAB廠區(qū)內(nèi)完全專注于先進的MEMS生產(chǎn)與研發(fā)，并將整合所有X-FAB MEMS的業(yè)務。

　　X-FAB執(zhí)行長Rudi De Winter表示，”在X-FAB所有的業(yè)務中，MEMS是一塊策略領域以服務我們客戶不斷成長的需求。我們的客戶將受益于只專注在先進MEMS技術的專用資源與專業(yè)的代工，并建立在X-FAB卓越技術的堅固基礎上。此舉將帶領X-FAB朝向我們的目標，成為全球前三大MEMS代工服務的供貨商。”

　　X-FAB近期MEMS的技術成就包含:

• 業(yè)界首個為MEMS三軸慣性傳感器(3-axis inertial sensor)提供的開放性平臺，一個可以直接從代工廠量產(chǎn)的制程
• 為MEMS完成專用的貴金屬設備
• 生產(chǎn)8英吋MEMS的能力
• 可大量制造并整合CMOS的bulk與表面微機械加工技術
• 為主流MEMS應用所發(fā)展的內(nèi)部技術平臺，如壓力傳感器、慣性傳感器、紅外線傳感器
• 可立即使用的MEMS加速度計的IP