12月26日消息，據(jù)韓媒 ETNews 報(bào)道，三星電子正在開(kāi)發(fā)自己的“智能傳感器系統(tǒng)”，用于對(duì)半導(dǎo)體工藝的控制和管理。這項(xiàng)新技術(shù)有望提高半導(dǎo)體良率、提高生產(chǎn)率。

提高半導(dǎo)體良率的關(guān)鍵點(diǎn)之一，是精確控制半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中等離子體的均勻性和密度，而“智能傳感器系統(tǒng)”用于測(cè)量晶圓等離子均勻性，準(zhǔn)確測(cè)量和管理蝕刻、沉積和清洗的工藝性能，有望提高半導(dǎo)體良率和產(chǎn)能。

三星現(xiàn)有的晶圓智能傳感器大部分采購(gòu)自美國(guó)等國(guó)外廠商，耗資巨大。而近期對(duì)于提高產(chǎn)量的需求不斷飆升，倒逼三星轉(zhuǎn)向自研，降低對(duì)外國(guó)傳感器的依賴程度。

當(dāng)前，三星電子內(nèi)部已經(jīng)開(kāi)始了智能傳感器系統(tǒng)的研究與開(kāi)發(fā)，預(yù)計(jì)未來(lái)將應(yīng)用于無(wú)人駕駛和人工智能半導(dǎo)體制造過(guò)程。該項(xiàng)目據(jù)悉正在與有關(guān)伙伴和學(xué)術(shù)界合作進(jìn)行。

此外，三星電子正在開(kāi)發(fā)的智能傳感器據(jù)悉為超小型，不會(huì)對(duì)現(xiàn)有設(shè)備空間造成太大影響。這意味著還能夠提高空間利用率。

三星電子還計(jì)劃逐步擴(kuò)大智能傳感器的開(kāi)發(fā)和應(yīng)用范圍。其目的是開(kāi)發(fā)智能傳感器和系統(tǒng)，可用于各種半導(dǎo)體工藝，而不限于等離子體。

來(lái)源：芯傳感