高低溫探針臺T8-LY100能夠為半導(dǎo)體芯片的電學(xué)參數(shù)測試提供一個80K-420K高低溫測試環(huán)境，通過外接不同的電學(xué)測量儀器，可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數(shù)檢測，用于低溫環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學(xué)測試。

技術(shù)指標：

1.真空腔體約直徑260mm，

2.帶有4英寸高透射觀察窗，材質(zhì)熔融石英

3.樣品載臺直徑：(50mm)平整度<5微米

4.樣品臺直徑：50mm

5.移動范圍：±25mm

6.溫度范圍：80K-420K，控溫精度：0.1-0.5K

7.制冷方式：液氮

8· X-Y-Z行程范圍：±25mm*±25mm*0-12.5mm線性運動，位移精度：1um

9· 預(yù)留光纖接入口做光響應(yīng)測試

10· 預(yù)留四個探針座的接口

11· 探針長度38mm，直徑0.5mm，針尖直徑1um

12· 兩套CCD相機（能看清1-2um）

13·耦合一套四軸應(yīng)變裝置（定制）

14·三同軸射頻接口：4只，外接三同軸連接線雙向公頭，長度 2米

15. 配50升液氮罐輸液管

16. 真空抽口KF50

17.重量：75kg