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        中芯國際 CEO:ASML CTO告訴我光刻機“差距大概20年”

        發(fā)布人:旺材芯片 時間:2021-04-27 來源:工程師 發(fā)布文章
        4月24日,據(jù)第一財經(jīng),在中國工程院主辦的“中國工程院信息與電子工程前沿論壇”上,浙江大學(xué)吳漢明院士、中芯國際聯(lián)席CEO趙海軍等多位半導(dǎo)體界人士對光刻機、產(chǎn)能等關(guān)鍵問題展開討論。



        在演講中,吳漢明院士指出,中國集成電路產(chǎn)業(yè)正在面臨兩大壁壘:政策壁壘和產(chǎn)業(yè)性壁壘。
        前者包括巴統(tǒng)和瓦森納協(xié)議,后者則體現(xiàn)在世界的半導(dǎo)體龍頭得益于早期布局所積累的豐富知識產(chǎn)權(quán),對中國半導(dǎo)體這樣的后來者形成專利護城河,這些都給中國半導(dǎo)體提出了巨大的挑戰(zhàn)。
        集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的環(huán)節(jié)繁多,重點三大“卡脖子”制造環(huán)節(jié)包括了工藝、裝備/材料、設(shè)計IP 核/EDA。
        吳漢明提到,國內(nèi)產(chǎn)業(yè)發(fā)展存在多方面短板,例如在檢測設(shè)備領(lǐng)域,我國企業(yè)很少涉足,因此國內(nèi)產(chǎn)業(yè)在該領(lǐng)域的發(fā)展幾乎空白;在半導(dǎo)體材料方面,我國光刻膠、掩膜版、大硅片產(chǎn)品幾乎都要依賴進口;在裝備領(lǐng)域,世界舞臺上看不到中國裝備的身影。
        以EUV光刻機為例,涉及到十多萬零部件,需要5000多供應(yīng)商支撐,其中32%在荷蘭和英國,27%供應(yīng)商在美國,14%在德國,27%在日本,這其實體現(xiàn)了全球化技術(shù)協(xié)作的結(jié)果。
        吳漢明提到,自主可控重要,但與此同時這個行業(yè)也是全球性的行業(yè)。在這其中,“我們有哪些環(huán)節(jié)拿得住的?是我國研發(fā)和產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心點?!?/span>
        吳漢明關(guān)于光刻機的話題,也引發(fā)了現(xiàn)場中芯國際聯(lián)席 CEO趙海軍的一番感慨。
        趙海軍提到,荷蘭光刻機企業(yè)ASML首席技術(shù)官Martin van Der Brink此前來上海參觀,并對他說,“差距大概是20年”。但趙海軍認為:“20年的差距不需要20年追趕,想要一下子超過去很難,但是可以每次一點點遞進?!?/span>
        趙海軍提到, ASML有多牛,還有一點在于別人已經(jīng)不做這個領(lǐng)域了,但它依然堅持做下去。
        圖:上海微電子的600系列光刻機
        吳漢明院士以目前的芯片制造工藝為例,談到目前面臨的三大挑戰(zhàn)。
        其中基礎(chǔ)挑戰(zhàn)是精密圖形;核心挑戰(zhàn)是新材料,每種材料都需要數(shù)千次工藝實驗,新材料支撐性需要性能提升;終極挑戰(zhàn)則是提升良率。
        除了技術(shù)以外,晶圓廠、研發(fā)和設(shè)計成本也是芯片產(chǎn)業(yè)面臨的另一重大挑戰(zhàn)。
        “雖然芯片的難度和成本一直增加,但趨緩的摩爾定律給追趕者帶來機會?!眳菨h明表示,在這些挑戰(zhàn)下,先進系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、特色工藝和先進封裝在芯片制造方面結(jié)合運用,芯片制造領(lǐng)域大有可為。
        他援引數(shù)據(jù)稱,10納米節(jié)點以下先進產(chǎn)能占17%,83%市場在10納米以上節(jié)點,創(chuàng)新空間巨大。在先進制程研發(fā)不占優(yōu)勢的情況下,我國可以運用成熟的工藝,把芯片的性能提升。也正是因此他提出一個觀點:本土可控的55nm芯片制造,比完全進口的7nm更有意義。
        吳漢明還提到,“忽悠式”的芯片投資或許過熱,但真正做芯片的還是非常緊缺,中國的芯片投資遠沒有過熱,尤其要重視產(chǎn)業(yè)鏈的本土化,要讓制造產(chǎn)能實現(xiàn)增長,至少增長率要高于全球。趙海軍也認同,目前的芯片過熱并不是本質(zhì)。


        此外,目前全球產(chǎn)能排名前五的晶圓廠包括三星、臺積電、美光、SK海力士和鎧俠Kioxia,而國內(nèi)芯片市場需求和制造能力的差距依然很大。吳漢明此前曾表示:“如果不加速發(fā)展,未來中國芯片產(chǎn)能與需求的差距,將拉大到至少相當于8個中芯國際的產(chǎn)能?!?/span>


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