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基于ARM與MEMS器件的微慣性測量裝置設計
- 在仿生推進機理的研究中，精確測量魚類尾鰭拍動參數(shù)對于魚類仿生推進機理研究及工程應用具有重要的意義;然而，目前研究者大多采用分析高速攝像機拍攝的圖像獲得參數(shù)的觀測方法。這種方法受到環(huán)境與設備的限制，結果精確度較差。本設計是一種基于MEMS器件的生物運動微慣性測量裝置。利用該裝置實現(xiàn)了對SPC-III機器魚尾鰭拍動參數(shù)的精確測量，為國內首次利用MEMS器件進行的活體魚尾鰭拍動參數(shù)測量實驗打下了基礎，為機器魚仿生推進設計理論提供支撐。 1 設計要求和系統(tǒng)結構 根據(jù)活體魚類的生物特征和實驗本身的特
- 關鍵字： ARM MEMS
閃耀光柵數(shù)字微鏡的結構設計與驅動仿真
- 基于MEMS的閃耀光柵數(shù)字微鏡顯示技術是一種全新的顯示技術, 它的基本工作原理為：平行的復合白色光線以固定的入射角照射在閃耀光柵微鏡陣列上，驅動電路驅動每個像素單元的閃耀光柵微鏡偏轉不同角度，在特定的衍射方向上得到的R、G、B以及不可見波長的光線經(jīng)過成像鏡頭后形成彩色畫面。 微鏡結構設計的基本要求 閃耀光柵數(shù)字微鏡顯示技術的核心部件是閃耀光柵數(shù)字微鏡。要達到便攜應用和投影應用的目的，閃耀光柵數(shù)字微鏡結構設計需滿足以下基本要求。 盡可能減小顯示單元的尺寸 為了得到準確的基色，要求
- 關鍵字： MEMS 閃耀光柵數(shù)字微鏡 結構 驅動
MEMS硅膜電容式氣象壓力傳感器的研制
- 1 引言 大氣壓力傳感器在工業(yè)生產、氣象預報、氣候分析、環(huán)境監(jiān)測、航空航天等方面發(fā)揮著不可替代的作用。傳統(tǒng)的壓力傳感器一般為機械式，體積比較大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技術不僅可以解決上述缺點，還能極大地降低成本，而性能更為優(yōu)異。如今基于MEMS技術得到廣泛應用的壓力傳感器主要有壓阻式和電容式兩大類，壓阻式壓力傳感器的線性度很好，但精度一般，溫漂大，一致性差;電容式壓力傳感器與之相比，精度更高，溫漂小，芯片結構更具魯棒性，但線性度差且易受寄生電容的影響。目前MEMS電容式壓力傳感器多用
- 關鍵字： MEMS
MEMS固態(tài)風速風向傳感器的設計與制作
- 1 引言 風速及風向的測量是氣象觀測中重要的一環(huán)。風速風向可以基于流體力學原理、熱學原理、聲學原理和仿生學原理來測量。熱式測風儀基于風對熱體的對流作用來測量風速和風向，其存在一個精密的熱源，通過把兩對相對的熱源與熱電偶正交放置測量風向。超聲測風儀可以同時進行超聲波的發(fā)射和接收，基于多普勒效應測量風速，用三個或者四個探頭根據(jù)三角關系測量風向信息?；贛EMS技術傳感器有體積小、重量輕及成本低的特點，基于MEMS技術的風速和風向測量傳感器受到了研究者的重視。 本文介紹了基于MEMS的固態(tài)風速風
- 關鍵字： MEMS
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