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兼顧高生產率與高分辨率， 佳能發(fā)售FPD曝光設備新品“MPAsp-H1003H”
- 佳能將于2022年7月下旬發(fā)售FPD（Flat Panel Display）曝光設備新品“MPAsp-H1003H”。作為支持第8代玻璃基板尺寸*1的FPD曝光設備新產品，“MPAsp-H1003H”擁有1.5μm*2（L/S*3）的分辨率和±0.35μm的套合精度。 FPD曝光設備“MPAsp-H1003H” 近年來，隨著遠程辦公需求的激增與在線教育的迅速普及，筆記本電腦、平板電腦等IT設備所用顯示器的需求也在持續(xù)增長。此外，由于電動汽車的普及與自動駕駛技術的不斷進步，更輕薄、高清優(yōu)
- 關鍵字： 佳能 FPD曝光設備 MPAsp-H1003H
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