我國“超級(jí)針”X射線成像系統(tǒng)成功實(shí)現(xiàn)自主研制

• 　　近日，中國電科38所發(fā)布自主研制的新一代無損檢測(cè)設(shè)備——“超級(jí)針”X射線成像系統(tǒng)，這是全國首臺(tái)“超級(jí)針”X射線成像系統(tǒng)。該系統(tǒng)擁有“火眼金睛”般的缺陷檢測(cè)能力，成像分辨率小于1微米?！　‰S著集成電路向高集成度、微型化方向發(fā)展，先進(jìn)封裝工藝對(duì)封裝檢測(cè)設(shè)備提出新的需求和挑戰(zhàn)。一方面，更精細(xì)的封裝尺度要求設(shè)備分辨率提升至亞微米級(jí)，但目前國際上可生產(chǎn)亞微米級(jí)分辨率設(shè)備的廠商屈指可數(shù);另一方面，隨著芯片制造及封裝過程中越來越多地使用硅、鋁、銅、陶瓷等輕元素材料，對(duì)輕元素材料的檢測(cè)需求日益凸顯，對(duì)設(shè)備檢測(cè)范圍提出
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