基礎(chǔ)知識(shí)之薄膜壓電MEMS

• 壓電表示壓電元件（Piezoelectric　Element、Piezoelectric Device），壓電元件是指通過(guò)施加力（壓力）產(chǎn)生電壓（壓電效應(yīng)），或與之相反，通過(guò)施加電壓產(chǎn)生變形（逆壓電效應(yīng)）的元件。壓電元件使用具有壓電效應(yīng)的壓電材料。施力時(shí)，（+）正離子、（-）負(fù)離子的位置會(huì)移動(dòng)，產(chǎn)生（+）和（-）電荷的偏移（電極化），從而產(chǎn)生電壓。利用壓電效應(yīng)的主要用途是傳感器，利用逆壓電效應(yīng)的主要用途是執(zhí)行機(jī)構(gòu)。壓電材料的種類(lèi)壓電材料大致分為單晶、陶瓷、薄膜等。羅姆采用的是使用鋯鈦酸鉛（PZT）的薄膜壓
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