離子探針是用聚焦的一次離子束作為微探針轟擊樣品表面，測射出原子及分子的二次離子，在磁場中按質(zhì)荷比（m/e）分開，可獲得材料微區(qū)質(zhì)譜圖譜及離子圖像，再通過分析計(jì)算求得元素的定性和定量信息。離子探針適用于許多不同類型的樣品分析，包括金屬樣品、半導(dǎo)體器件、非導(dǎo)體樣品，如高聚物和玻璃產(chǎn)品等。廣泛應(yīng)用于金屬、半導(dǎo)體、催化劑、表面、薄膜等領(lǐng)域中以及環(huán)?？茖W(xué)、空間科學(xué)和生物化學(xué)等研究部門。　　主要包括四部分 [ 查看詳細(xì) ]

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