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離子刻蝕文章進(jìn)入離子刻蝕技術(shù)社區(qū)

日本住友精密收購Tegal離子刻蝕事業(yè)部

　　日本住友精密產(chǎn)品公司(SPP)日前完成了對Tegal離子刻蝕事業(yè)部的收購，由此促成Tegal轉(zhuǎn)型為太陽能系統(tǒng)項目開發(fā)商。Tegal以制造和銷售深度反應(yīng)離子刻蝕(Deep Reactive Ion Etch，DRIE)設(shè)備而著稱，但該公司2009年就打算退出半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)，轉(zhuǎn)投新興的太陽能系統(tǒng)項目開發(fā)市場。　　
關(guān)鍵字：住友精密離子刻蝕

共1條 1/1 1

離子刻蝕介紹

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