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        EEPW首頁 >> 主題列表 >> 硅電容式壓力傳感器

        硅電容式壓力傳感器 文章 進入硅電容式壓力傳感器技術社區(qū)

        基于高溫的微型壓力傳感器設計方案

        MEMS壓力傳感器及其應用

        共2條 1/1 1

        硅電容式壓力傳感器介紹

        電容式壓力傳感器   capacitive type pressure transducer   利用電容敏感元件將被測壓力轉換成與之成一定關系的電量輸出的壓力傳感器。它一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個電極,當薄膜感受壓力而變形時,薄膜與固定電極之間形成的電容量發(fā)生變化,通過測量電路即可輸出與電壓成一定關系的電信號。電容式壓力傳感器屬于極距變化型電容式傳感器,可分 [ 查看詳細 ]

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