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硅升華文章進入硅升華技術社區(qū)

速度提升百倍美科學家在4英寸基體上制成石墨薄膜

　　美國賓夕法尼亞州立大學光電材料中心(Electro-Optics Center Materials Division：EOC)的研究人員最近成功地在4英寸(100mm)大小的基體上制成了石墨薄膜，這種石墨薄膜是由碳原子組成的平面薄膜，薄膜的厚度極薄，只有1-2個碳原子的厚度，相比傳統(tǒng)外延生長出來的硅膜，石墨薄膜內部的碳原子組織結構能夠極大地提高電路的電性能，電路的運行速度可達硅電路的100倍。　　由于在硅基體上直接生成石墨薄膜時，很難保證薄膜內部碳原子結構的一致性，因此過去科學家制造石墨電路的方
關鍵字：硅電路石墨薄膜硅升華

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