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        EEPW首頁 >> 主題列表 >> 白光干涉儀

        使用白光干涉儀過程中的疑問

        • 1、問:測量到最小尺寸能否達到12ΜM,或者能夠測到更小尺寸?答:可以,垂直分辨率是0.1nm,XY分辨率依物鏡而有...
        • 關(guān)鍵字: 白光干涉儀  分辨率  掃瞄器  
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        白光干涉儀介紹

          白光干涉儀SIS系列采用增加相位掃描干涉技術(shù),是專為準(zhǔn)確測量表面輪廓、粗糙度、臺階高度和其他表面參數(shù)而設(shè)計的微納米測量系統(tǒng),,為韓國SAMSUNG全球唯一指定供應(yīng)商,LPL友好俱樂部成員,清華大學(xué),臺灣大學(xué),首爾大學(xué)友好合作伙伴?! ?、非接觸式測量:避免物件受損?! ?、三維表面測量:表面高度測量范圍為1nm-200μm。  3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換?! ?、納米級分辨率:垂直分 [ 查看詳細 ]

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