濺射靶材 文章 進入濺射靶材技術社區(qū)
我國集成電路濺射靶材打破國外壟斷
- 日前，中國有色金屬工業(yè)協(xié)會對中色(寧夏)東方集團有限公司完成的極大規(guī)模集成電路300mm硅片工藝用濺射靶材研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目進行了鑒定，該項目整體技術已達到國際先進水平，打破了發(fā)達國家對集成電路用高端靶材的壟斷。 據(jù)了解，濺射靶材是生產(chǎn)半導體芯片最重要的原料之一。目前全球只有日本和美國具備生產(chǎn)先進半導體用濺射靶材的能力。中色(寧夏)東方集團和其他6家單位共同實施的這一項目形成了具有我國自主知識產(chǎn)權的集成技術并實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化，產(chǎn)品通過了終端客戶認證。該項目達產(chǎn)后，預計年銷售收入在20億元以上。
- 關鍵字： 集成電路 濺射靶材
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