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應用材料公司推出亮場硅片檢測工具UVision3系統(tǒng)
- 近日，應用材料公司推出具有業(yè)界最高生產(chǎn)力的DUV(深紫外)亮場硅片檢測工具UVision® 3系統(tǒng)，它能滿足45納米前端制程和浸沒式光刻對于關(guān)鍵缺陷檢測靈敏度的要求。這個新一代的系統(tǒng)為應用材料公司突破性的UVision技術(shù)帶來了重要的進步，它將掃描硅片的激光束數(shù)量提升至3倍，使其生產(chǎn)速度比任何競爭對手的系統(tǒng)快40%。兩個新的成像模式將靈敏度擴展至20納米，全新靈活的自動缺陷分類引擎能夠迅速標定出有害缺陷從而達到更快的成品率學習進程。 應用材料公司副總裁，工藝診斷控制事業(yè)部總經(jīng)理Gilad
- 關(guān)鍵字： 測試 測量 應用材料 硅 檢測工具 操作系統(tǒng)
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