極紫外光刻機(jī) 文章 進(jìn)入極紫外光刻機(jī)技術(shù)社區(qū)
ASML預(yù)測(cè)，未來九個(gè)月對(duì)中國的銷量將大幅回升
- ASML 財(cái)務(wù)總監(jiān) Roger Daasen 表示，今年未來幾個(gè)季度中國大陸的銷量將顯著回升。
- 關(guān)鍵字： ASML 光刻機(jī) EUV 極紫外光刻機(jī)
生產(chǎn)力提升15% ASML交付首臺(tái)極紫外光刻機(jī)
- 芯研所消息，ASML第一臺(tái)全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻機(jī)系統(tǒng)已經(jīng)交付給客戶，和前代產(chǎn)品相比生產(chǎn)力提高了約15-20％，套刻精度提高了約30％。據(jù)了解，本次交付的TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻機(jī)的EUV光源波長13.5nm左右，物鏡NA數(shù)值孔徑0.33，第二代EUV光刻機(jī)將會(huì)是NXE:5000系列，物鏡NA提升到0.55，進(jìn)一步提高光刻精度。ASML表示，正努力增加EUV光刻機(jī)在存儲(chǔ)行業(yè)的量產(chǎn)應(yīng)用，計(jì)劃協(xié)助三個(gè)DRAM內(nèi)存芯片客戶在未來的工藝節(jié)點(diǎn)中導(dǎo)入EUV。
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極紫外光刻機(jī)介紹
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