微壓傳感器 文章 進入微壓傳感器技術(shù)社區(qū)
基于PGA900的薄膜微壓傳感器研究
- 本文基于濺射薄膜技術(shù)研制微壓傳感器，充分發(fā)揮濺射薄膜技術(shù)優(yōu)勢，通過改進芯體結(jié)構(gòu)解決了輸出靈敏度低的難題。使用PGA900信號調(diào)理器對薄膜微壓傳感器進行信號調(diào)理，通過內(nèi)置算法實現(xiàn)傳感器溫度補償和性能優(yōu)化。經(jīng)過試驗驗證，傳感器的性能穩(wěn)定、輸出特性良好，達到了同類產(chǎn)品的較高水平。
- 關(guān)鍵字： PGA900 微壓傳感器 濺射薄膜 信號調(diào)理 202201
微壓傳感器具體應(yīng)用說明
- 微壓傳感器在測量過程，即壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，同時通過電子線路檢測這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這個壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號得過程。 對于微壓傳感器來說，靈敏度和線性度是微壓力傳感器最重要的兩個性能指標(biāo)。為了制作出能夠滿足實際應(yīng)用需求的傳感器，必需探索出一種微壓力傳感器靈敏度和線性度的有效仿真方法。實際的研究中，發(fā)現(xiàn)一種基于對壓阻式壓力傳感器薄膜表面應(yīng)力的有限元分析(FEA)和路徑積分的仿真方法。通過這一方法實現(xiàn)了在滿量程范圍內(nèi)不同壓力值
- 關(guān)鍵字： 微壓傳感器 膜片
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