新型光學(xué)加速度傳感器動(dòng)力學(xué)性能設(shè)計(jì)

• 　　引 言 　　動(dòng)力學(xué)振動(dòng)系統(tǒng)是眾多慣性傳感器中的重要組成部分，其參數(shù)的選取決定了傳感器的性能的優(yōu)劣。針對(duì)基于菲涅耳衍射微透鏡的新型光學(xué)加速度傳感器設(shè)計(jì)了一種簡(jiǎn)單實(shí)用的敏感加速度的振動(dòng)系統(tǒng)，它是由一個(gè)微彈性機(jī)械結(jié)構(gòu)連接在外框架上構(gòu)成。微彈性機(jī)械結(jié)構(gòu)不僅是微型加速度傳感器重要組成部分，而且，在微型驅(qū)動(dòng)器、微位移計(jì)、微陀螺儀及其他慣性傳感器中也有著重要的應(yīng)用，在微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)中發(fā)揮著重要的作用。目前，MEMS中類似于微彈性機(jī)械結(jié)構(gòu)的敏感裝置主要有硅懸臂梁、直角彈性結(jié)構(gòu)及結(jié)構(gòu)更復(fù)雜的硅彈簧等。微彈性機(jī)
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