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        提升產(chǎn)業(yè)鏈競爭力 中國掩模版邁向高世代

        作者:深圳清溢光電股份有限公司常務(wù)副總經(jīng)理 張沛 時(shí)間:2009-07-01 來源:中國電子報(bào) 收藏

          從表面上看,第8代和第5代的精度要求相當(dāng),但8代尺寸為 1220mm ×1400mm,面積特別大,達(dá)到1.7m 2,是第5代面積的4.1倍,因此實(shí)現(xiàn)同等的技術(shù)指標(biāo)的難度系數(shù)要大很多,這在CD精度、TP精度、缺陷等三大技術(shù)指標(biāo)上都有所體現(xiàn)。

        本文引用地址:http://www.antipu.com.cn/article/95820.htm

          從CD精度來看,第8代掩模版面積約為第5代掩模版面積的4倍,但圖形關(guān)鍵尺寸的絕對精度誤差指標(biāo)仍為小于±0.35μm,面積增大之后,CD精度要滿足要求,其工藝難度就隨之增大。

          從TP精度來看,雖然TP絕對精度指標(biāo)要求都為小于±0.50μm,但根據(jù)其實(shí)際長度和面積換算,第5代掩模版等比允許其位置精度累計(jì)在90nm/100mm左右的水準(zhǔn),而第8代掩模版等比僅允許位置精度誤差累計(jì)在40nm/100mm左右的水準(zhǔn),精度要求提升了一倍。

          從缺陷指標(biāo)來看,第8代掩模版面積大,因此缺陷概率肯定增大,工藝控制難度增加。

          邁向高世代促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展

          目前全球用掩模版供貨廠家主要為日本的HOYA、SKE,韓國的LGMi-cron、PKL,以及我國臺(tái)灣地區(qū)的AIPC公司。在中國大陸,清溢光電在成功研制5代用掩模版后,成為全球第6家具備TFT掩模版生產(chǎn)能力的廠家。

          就銷售額來說,HOYA在掩模版市場上處于主導(dǎo)地位,占全球份額的28%。其他如SKE和韓國LGM、PKL由于積極開發(fā)大尺寸掩模版,也占有了相當(dāng)大的份額。中國大陸的掩模版產(chǎn)業(yè)尚處于起步階段,但由于大陸面板產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展,給清溢光電帶來了前所未有的機(jī)遇,清溢光電所擁有的成本和本地化的優(yōu)勢都將使其市場占有率得到很大提升。

          清溢光電作為中國大陸第一家專業(yè)掩模版公司,與國外同行相比,清溢光電用掩模版在國內(nèi)競爭優(yōu)勢明顯。通過發(fā)揮政策優(yōu)勢、價(jià)格優(yōu)勢、成本優(yōu)勢、服務(wù)優(yōu)勢、區(qū)域優(yōu)勢和品牌優(yōu)勢,構(gòu)建清溢光電的競爭策略,預(yù)計(jì)2014年可實(shí)現(xiàn)銷售收入5億元。

          在國家對彩電產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)進(jìn)行調(diào)整的背景下,在打造相對完整的平板彩電產(chǎn)業(yè)鏈的目標(biāo)引導(dǎo)下,清溢光電將在已量產(chǎn)的第 5代TFT-LCD掩模版生產(chǎn)線的基礎(chǔ)上,建設(shè)國內(nèi)首條第8代TFT-LCD用掩模版生產(chǎn)線項(xiàng)目,這將避免國內(nèi)第8代TFT-LCD用掩模版依賴進(jìn)口,對于促進(jìn)我國TFT-LCD產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展、提升產(chǎn)業(yè)鏈競爭力具有重要的戰(zhàn)略意義。該高世代掩模版項(xiàng)目將帶動(dòng)石英玻璃基材、保護(hù)膜、平板顯示器件生產(chǎn)專用設(shè)備等上游產(chǎn)業(yè)發(fā)展,并推動(dòng)下游彩色濾光片、液晶面板技術(shù)的進(jìn)步。

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        關(guān)鍵詞: TFT-LCD MASK 掩模版

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