結(jié)論

　　本文對(duì)所開(kāi)發(fā)高速大動(dòng)態(tài)范圍LED晶圓靜電量測(cè)模組，使輸出電壓可涵蓋規(guī)范靜電分類(lèi)之最小電壓250V至最大電壓8000V大動(dòng)態(tài)范圍；并縮短低電壓切換至高電壓上升時(shí)間至80ms以?xún)?nèi)，未來(lái)將進(jìn)行小型試量產(chǎn)與至客戶(hù)端進(jìn)行耐久測(cè)試，并視商品化需求進(jìn)行修改，以達(dá)高速與大動(dòng)態(tài)范圍LED晶粒線(xiàn)上檢測(cè)與分類(lèi)目的。于應(yīng)用方面除可用于LED靜電測(cè)試外主，搭配探針點(diǎn)測(cè)技術(shù)可應(yīng)用于半導(dǎo)體BGA、CSP（Chip Scale Package）、FC（Flip Chip）微小元件晶圓靜電測(cè)試。進(jìn)一步應(yīng)用包括可用于X-ray Tubes、Photomultiplier Tubes、Electron Beam Focusing等。