ADI公司的ADXRS624是完整的角速度傳感器（陀螺儀），采用ADI公司的表面微機械加工工藝。ADXRS624在一塊芯片上集成了所有所需的電子組件，功能全面、成本低廉。該器件的制造工藝同高穩(wěn)定性汽車氣囊加速度計一樣，都采用大容量BiMOS工藝。輸出信號RATEOUT （1B， 2A）的電壓同垂直于封裝頂面的軸向角速度成正比。輸出電壓與給定的參考電壓成比例。SUMJ和RATEOUT之間的外部電阻可用于減小比例因子。一個外部電容用于調(diào)整帶寬。其他外部電容在運行時使用。溫度輸出用于提供補償。兩個數(shù)字自檢測輸入通過電機方式激勵傳感器，從而檢測傳感器和信號調(diào)節(jié)電路是否處于正常工作狀態(tài)。ADXRS624采用7mm × 7mm × 3mm BGA芯片級封裝。

圖1 ADXRS624方框圖

圖2 評估板EVAL- ADXRS624電路圖

圖3 評估板EVAL-ADXRS624元件布局圖

ADXRS624主要特性

? 在一個芯片上的完整的速度陀螺儀

? Z軸（偏轉(zhuǎn)角速率）響應(yīng)

? 在寬頻率范圍內(nèi)的高振動抑制

? 2000g抗沖擊能力

? 與參考電壓成比例

? 5V單電源工作

? 工作溫度為105℃

? 對數(shù)字指令進行自檢測

? 超小、超輕（《0.15cc、《0.5gram）

? 溫度傳感器輸出

? 滿足RoHS標(biāo)準(zhǔn)

? 滿足汽車應(yīng)用要求

ADXRS624應(yīng)用